电子半导体生产环境对洁净度的要求极高,因为微粒和气态分子污染物会对半导体产品的良率产生显著影响。在半导体洁净室中,风速计和粒子计数器通常配合使用,以获得全面的空气质量信息。风速计提供了气流动态的数据,而粒子计数器提供了空气质量的静态数据 。通过这种结合,可以更准确地评估和控制洁净室的环境,从而保障半导体产品的质量和生产效率。
电子半导体生产环境对洁净度的要求极高,因为微粒和气态分子污染物会对半导体产品的良率产生显著影响。在半导体洁净室中,风速计和粒子计数器通常配合使用,以获得全面的空气质量信息。风速计提供了气流动态的数据,而粒子计数器提供了空气质量的静态数据 。通过这种结合,可以更准确地评估和控制洁净室的环境,从而保障半导体产品的质量和生产效率。